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光刻機主要配置

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2015-12-28 |

光刻機的配置包括一下幾個方面：
(1)曝光頭
冷光橢球鏡
350 W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
 XYZ汞燈調節臺
 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(77個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

 冷卻風扇

光刻機

(2)對準工件臺
掩模樣片相對運動臺
轉動臺
樣片調平機構,自動完成
樣片調焦機構，氣缸自動調
承片臺3個(2英寸、3英寸、4英寸)
掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
掩模抽拉式上下機構
(3)雙目雙視場對準顯微鏡(可以選擇帶CCD型，目鏡和監視器可同時觀測)
光源、電源
雙目雙視場對準顯微鏡主體
目鏡3對(10倍、16倍、20倍，共6個)
物鏡3對(4倍、10倍、20倍，共6個)
CCD光學系統(選配件)
XYZ底面對準工件臺